水素ラジカル支援プラズマ化学気相成長法による立方晶炭化ケイ素結晶の低温成長

• Material Type: 図書
• Title: 水素ラジカル支援プラズマ化学気相成長法による立方晶炭化ケイ素結晶の低温成長
• Title Transcription: スイソ ラジカル シエン プラズマ カガク キソウ セイチョウホウ ニ ヨル リッポウショウ タンカ ケイソ ケッショウ ノ テイオン セイチョウ
• Author/Editor: 安井, 寛治, 長岡技術科学大学
• Author Heading: 安井, 寛治 ヤスイ, カンジ
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 水素ラジカル スイソラジカル; プラズマ化学気相成長法 プラズマカガクキソウセイチヨウホウ; 立方晶炭素ケイ素 リツポウシヨウタンソケイソ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650028
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09650028
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007019947; http://id.ndl.go.jp/bib/000007019947
• Bibliographic Record Category (NDL): 214