完全円偏光の生成とこれを用いた分光エリプソメーターの精密校正法の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 完全円偏光の生成とこれを用いた分光エリプソメーターの精密校正法の開発
• タイトルよみ: カンゼンエン ヘンコウ ノ セイセイ ト コレ オ モチイタ ブンコウ エリプソメーター ノ セイミツ コウセイホウ ノ カイハツ
• 著者・編者: 山本, 正樹, 東北大学
• 著者標目: 山本, 正樹 ヤマモト, マサキ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 分光エリプソメーター ブンコウエリプソメーター; 偏光解析法 ヘンコウカイセキホウ; 完全円偏光 カンゼンエンヘンコウ; 校正法 コウセイホウ; エキシマレーザー エキシマレーザー; KrFレーザー KRFレーザー; ArFレーザー ARFレーザー; エリプソメトリー エリプソメトリー
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650041
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650041
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007019956; http://id.ndl.go.jp/bib/000007019956
• 整理区分コード: 214