完全円偏光の生成とこれを用いた分光エリプソメーターの精密校正法の開発

• Material Type: 図書
• Title: 完全円偏光の生成とこれを用いた分光エリプソメーターの精密校正法の開発
• Title Transcription: カンゼンエン ヘンコウ ノ セイセイ ト コレ オ モチイタ ブンコウ エリプソメーター ノ セイミツ コウセイホウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 山本, 正樹, 東北大学
• Author Heading: 山本, 正樹 ヤマモト, マサキ
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 分光エリプソメーター ブンコウエリプソメーター; 偏光解析法 ヘンコウカイセキホウ; 完全円偏光 カンゼンエンヘンコウ; 校正法 コウセイホウ; エキシマレーザー エキシマレーザー; KrFレーザー KRFレーザー; ArFレーザー ARFレーザー; エリプソメトリー エリプソメトリー
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650041
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09650041
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007019956; http://id.ndl.go.jp/bib/000007019956
• Bibliographic Record Category (NDL): 214