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MWCVDを使って各種金属基板に創製したダイヤモンド薄膜の機械的性質の評価

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MWCVDを使って各種金属基板に創製したダイヤモンド薄膜の機械的性質の評価

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650106
国立国会図書館書誌ID
000007019996
資料種別
図書
著者
村上理一, 徳島大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
MWCVD オ ツカッテ カクシュ キンゾク キバン ニ ソウセイ シタ ダイヤモンド ハクマク ノ キカイテキ セイシツ ノ ヒョウカ
著者・編者
村上理一, 徳島大学
著者標目
村上, 理一 ムラカミ, リイチ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
1998
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
ダイヤモンド薄膜 ダイヤモンドハクマク
マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ
CVD CVD
機械的性質 キカイテキセイシツ
密着強度 ミツチヤクキヨウド