MWCVDを使って各種金属基板に創製したダイヤモンド薄膜の機械的性質の評価

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Material Type: 図書
Title: MWCVDを使って各種金属基板に創製したダイヤモンド薄膜の機械的性質の評価
Title Transcription: MWCVD オツカッテカクシュキンゾクキバンニソウセイシタダイヤモンドハクマクノキカイテキセイシツノヒョウカ
Author/Editor: 村上理一, 徳島大学
Author Heading: 村上, 理一ムラカミ, リイチ
Publication Date: 1997-1998
Publication Date (W3CDTF): 1997
1998
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: ダイヤモンド薄膜ダイヤモンドハクマク
マイクロ波プラズママイクロハプラズマ
CVD CVD
機械的性質キカイテキセイシツ
密着強度ミツチヤクキヨウド
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650106
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09650106
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007019996
http://id.ndl.go.jp/bib/000007019996
Bibliographic Record Category (NDL): 214