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摩擦力顕微鏡一体型加工評価装置の試作と極微小加工のメカニズムに関する研究

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摩擦力顕微鏡一体型加工評価装置の試作と極微小加工のメカニズムに関する研究

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650128
国立国会図書館書誌ID
000007020008
資料種別
図書
著者
森田, 昇, 千葉大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
マサツリョク ケンビキョウ イッタイガタ カコウ ヒョウカ ソウチ ノ シサク ト ゴク ビショウ カコウ ノ メカニズム ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
森田, 昇, 千葉大学
著者標目
森田, 昇 モリタ, ノボル
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ
微細加工 ビサイカコウ
加工機構 カコウキコウ
摩擦力顕微鏡 マサツリヨクケンビキヨウ
水平分力 スイヘイブンリヨク
垂直分力 スイチヨクブンリヨク