摩擦力顕微鏡一体型加工評価装置の試作と極微小加工のメカニズムに関する研究

• Material Type: 図書
• Title: 摩擦力顕微鏡一体型加工評価装置の試作と極微小加工のメカニズムに関する研究
• Title Transcription: マサツリョク ケンビキョウ イッタイガタ カコウ ヒョウカ ソウチ ノ シサク ト ゴク ビショウ カコウ ノ メカニズム ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 森田, 昇, 千葉大学
• Author Heading: 森田, 昇 モリタ, ノボル
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 原子間力顕微鏡 ゲンシカンリヨクケンビキヨウ; 微細加工 ビサイカコウ; 加工機構 カコウキコウ; 摩擦力顕微鏡 マサツリヨクケンビキヨウ; 水平分力 スイヘイブンリヨク; 垂直分力 スイチヨクブンリヨク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650128
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09650128
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007020008; http://id.ndl.go.jp/bib/000007020008
• Bibliographic Record Category (NDL): 214