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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- チョウセイミツ セッサク カコウ ニ ヨル ビサイ コウゾウ ソウセイホウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 山形, 豊, 理化学研究所
- 著者標目
- 山形, 豊 ヤマガタ, ユタカ
- 出版年月日等
- 1997-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 超精密切削加工 チヨウセイミツセツサクカコウマイクロフアブリケーシヨン マイクロフアブリケーシヨン超精密研削加工 チヨウセイミツケンサクカコウマイクロマシン マイクロマシン