超精密切削加工による微細構造創成法の研究

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Material Type: 図書
Title: 超精密切削加工による微細構造創成法の研究
Title Transcription: チョウセイミツセッサクカコウニヨルビサイコウゾウソウセイホウノケンキュウ
Author/Editor: 山形, 豊, 理化学研究所
Author Heading: 山形, 豊ヤマガタ, ユタカ
Publication Date: 1997-1998
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 超精密切削加工チヨウセイミツセツサクカコウ
マイクロフアブリケーシヨンマイクロフアブリケーシヨン
超精密研削加工チヨウセイミツケンサクカコウ
マイクロマシンマイクロマシン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650152
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09650152
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007020026
http://id.ndl.go.jp/bib/000007020026
Bibliographic Record Category (NDL): 214