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図書

超精密切削加工による微細構造創成法の研究

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超精密切削加工による微細構造創成法の研究

Call No. (NDL)
Y151-H09650152
Bibliographic ID of National Diet Library
000007020026
Material type
図書
Author
山形, 豊, 理化学研究所
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウセイミツ セッサク カコウ ニ ヨル ビサイ コウゾウ ソウセイホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
山形, 豊, 理化学研究所
Author Heading
山形, 豊 ヤマガタ, ユタカ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
超精密切削加工 チヨウセイミツセツサクカコウ
マイクロフアブリケーシヨン マイクロフアブリケーシヨン
超精密研削加工 チヨウセイミツケンサクカコウ
マイクロマシン マイクロマシン