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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- イオン オ フクム リュウシ ノ シツリョウ ブンセキホウ ト ハッコウ ブンコウ ジクウ ブンカイホウ ニ ヨル プロセスプラズマ ノ ドウジ シンダン
- 著者・編者
- 伊藤, 秀範, 室蘭工業大学
- 著者標目
- 伊藤, 秀範 イトウ, ヒデノリ
- 出版年月日等
- 1997-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)