イオンを含む粒子の質量分析法と発光分光時空分解法によるプロセスプラズマの同時診断

• Material Type: 図書
• Title: イオンを含む粒子の質量分析法と発光分光時空分解法によるプロセスプラズマの同時診断
• Title Transcription: イオン オ フクム リュウシ ノ シツリョウ ブンセキホウ ト ハッコウ ブンコウ ジクウ ブンカイホウ ニ ヨル プロセスプラズマ ノ ドウジ シンダン
• Author/Editor: 伊藤, 秀範, 室蘭工業大学
• Author Heading: 伊藤, 秀範 イトウ, ヒデノリ
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: プラズマ診断 プラズマシンダン; RFプラズマ RFプラズマ; 発光分光法 ハツコウブンコウホウ; 質量分析法 シツリヨウブンセキホウ; 同時診断 ドウジシンダン; 時空分解 ジクウブンカイ; イメージインテンシフアイア イメージインテンシフアイア; 周波数依存性 シユウハスウイゾンセイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650338
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09650338
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007020160; http://id.ndl.go.jp/bib/000007020160
• Bibliographic Record Category (NDL): 214