新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

• 資料種別: 図書
• タイトル: 新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明
• タイトルよみ: アタラシイ スパツタ タイセキ モード ニ ヨル キョウ ユウデンタイ(PZT)ハクマク ノ テイオン ケイセイ ト ソノ キコウ カイメイ
• 著者・編者: 佐々木, 公洋, 金沢大学
• 著者標目: 佐々木, 公洋 ササキ, キミヒロ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: スパツタリング スパツタリング; PZT薄膜 PZTハクマク; 金属モード キンゾクモード; 酸化物モード サンカブツモード; 同位体酸素 ドウイタイサンソ; ZrTiターゲツト ZRTIターゲツト; 金属・酸化物複合ターゲツト キンゾク・サンカブツフクゴウターゲツト
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650349
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650349
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007020169; http://id.ndl.go.jp/bib/000007020169
• 整理区分コード: 214