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新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

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新しいスパツタ堆積モードによる強誘電体(PZT)薄膜の低温形成とその機構解明

Call No. (NDL)
Y151-H09650349
Bibliographic ID of National Diet Library
000007020169
Material type
図書
Author
佐々木, 公洋, 金沢大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
アタラシイ スパツタ タイセキ モード ニ ヨル キョウ ユウデンタイ(PZT)ハクマク ノ テイオン ケイセイ ト ソノ キコウ カイメイ
Author/Editor
佐々木, 公洋, 金沢大学
Author Heading
佐々木, 公洋 ササキ, キミヒロ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
スパツタリング スパツタリング
PZT薄膜 PZTハクマク
金属モード キンゾクモード
酸化物モード サンカブツモード
同位体酸素 ドウイタイサンソ
ZrTiターゲツト ZRTIターゲツト
金属・酸化物複合ターゲツト キンゾク・サンカブツフクゴウターゲツト