ホツトフイラメント・アシスト・スパツタ法による高配向性カーボン薄膜

• 資料種別: 図書
• タイトル: ホツトフイラメント・アシスト・スパツタ法による高配向性カーボン薄膜
• タイトルよみ: ホツトフイラメント ・ アシスト ・ スパツタホウ ニ ヨル コウハイコウセイ カーボン ハクマク
• 著者・編者: 小沼, 義治, 信州大学
• 著者標目: 小沼, 義治 コヌマ, ヨシハル
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: Thin Film THINFILM; Polycrystalline film POLYCRYSTALLINEFILM; Sputtering SPUTTERING; Carbon CARBON; Carbyne CARBYNE; Chaoite CHAOITE
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650351
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650351
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007020170; http://id.ndl.go.jp/bib/000007020170
• 整理区分コード: 214