ホツトフイラメント・アシスト・スパツタ法による高配向性カーボン薄膜

• Material Type: 図書
• Title: ホツトフイラメント・アシスト・スパツタ法による高配向性カーボン薄膜
• Title Transcription: ホツトフイラメント ・ アシスト ・ スパツタホウ ニ ヨル コウハイコウセイ カーボン ハクマク
• Author/Editor: 小沼, 義治, 信州大学
• Author Heading: 小沼, 義治 コヌマ, ヨシハル
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: Thin Film THINFILM; Polycrystalline film POLYCRYSTALLINEFILM; Sputtering SPUTTERING; Carbon CARBON; Carbyne CARBYNE; Chaoite CHAOITE
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650351
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09650351
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007020170; http://id.ndl.go.jp/bib/000007020170
• Bibliographic Record Category (NDL): 214