強誘電体薄膜のサイズ効果とそれが薄膜メモリ特性に及ぼす影響

• 資料種別: 図書
• タイトル: 強誘電体薄膜のサイズ効果とそれが薄膜メモリ特性に及ぼす影響
• タイトルよみ: キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ サイズ コウカ ト ソレ ガ ハクマク メモリ トクセイ ニ オヨボス エイキョウ
• 著者・編者: 清水, 勝, 姫路工業大学
• 著者標目: 清水, 勝 シミズ, マサル
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 強誘電体 キヨウユウデンタイ; Pb (Zr, Ti) O3 PB (ZR, TI) O3; 薄膜 ハクマク; メモリデバイス メモリデバイス; サイズ効果 サイズコウカ; MOCVD法 MOCVDホウ; 膜厚 マクアツ; グレインサイズ グレインサイズ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650366
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650366
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007020182; http://id.ndl.go.jp/bib/000007020182
• 整理区分コード: 214