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強誘電体薄膜のサイズ効果とそれが薄膜メモリ特性に及ぼす影響

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強誘電体薄膜のサイズ効果とそれが薄膜メモリ特性に及ぼす影響

Call No. (NDL)
Y151-H09650366
Bibliographic ID of National Diet Library
000007020182
Material type
図書
Author
清水, 勝, 姫路工業大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
キョウ ユウデンタイ ハクマク ノ サイズ コウカ ト ソレ ガ ハクマク メモリ トクセイ ニ オヨボス エイキョウ
Author/Editor
清水, 勝, 姫路工業大学
Author Heading
清水, 勝 シミズ, マサル
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
強誘電体 キヨウユウデンタイ
Pb (Zr, Ti) O3 PB (ZR, TI) O3
薄膜 ハクマク
メモリデバイス メモリデバイス
サイズ効果 サイズコウカ
MOCVD法 MOCVDホウ
膜厚 マクアツ
グレインサイズ グレインサイズ