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ECRプラズマによる窒化ガリウム砒素の結晶成長と光電子集積回路実現への基礎的検討

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ECRプラズマによる窒化ガリウム砒素の結晶成長と光電子集積回路実現への基礎的検討

国立国会図書館請求記号
Y151-H09650372
国立国会図書館書誌ID
000007020186
資料種別
図書
著者
淀, 徳男, 大阪工業大学
出版者
-
出版年
1997-1998
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
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資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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書誌情報

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資料種別
図書
タイトルよみ
ECR プラズマ ニ ヨル チッカ ガリウムヒソ ノ ケッショウ セイチョウ ト コウデンシ シュウセキ カイロ ジツゲン ヘ ノ キソテキ ケントウ
著者・編者
淀, 徳男, 大阪工業大学
著者標目
淀, 徳男 ヨド, トクオ
出版年月日等
1997-1998
出版年(W3CDTF)
1997
数量
その他のタイトル
研究種目 基盤研究(C)
件名標目
OEIC OEIC
GaAs on Si GAASONSI
格子不整合 コウシフセイゴウ
界面電荷整合性 カイメンデンカセイゴウセイ
エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ
GaAs1-xNx GAAS1-XNX
ECRプラズマ ECRプラズマ
窒化物 チツカブツ