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ECRプラズマによる窒化ガリウム砒素の結晶成長と光電子集積回路実現への基礎的検討

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ECRプラズマによる窒化ガリウム砒素の結晶成長と光電子集積回路実現への基礎的検討

Call No. (NDL)
Y151-H09650372
Bibliographic ID of National Diet Library
000007020186
Material type
図書
Author
淀, 徳男, 大阪工業大学
Publisher
-
Publication date
1997-1998
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ECR プラズマ ニ ヨル チッカ ガリウムヒソ ノ ケッショウ セイチョウ ト コウデンシ シュウセキ カイロ ジツゲン ヘ ノ キソテキ ケントウ
Author/Editor
淀, 徳男, 大阪工業大学
Author Heading
淀, 徳男 ヨド, トクオ
Publication Date
1997-1998
Publication Date (W3CDTF)
1997
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(C)
Subject Heading
OEIC OEIC
GaAs on Si GAASONSI
格子不整合 コウシフセイゴウ
界面電荷整合性 カイメンデンカセイゴウセイ
エピタキシヤル成長 エピタキシヤルセイチヨウ
GaAs1-xNx GAAS1-XNX
ECRプラズマ ECRプラズマ
窒化物 チツカブツ