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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- カンゼン ハンテンガタ SIMOX MOSFET ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 菅野, 卓雄, 東洋大学
- 著者標目
- 菅野, 卓雄 スガノ, タクオ
- 出版年月日等
- 1997-1998
- 出版年（W3CDTF）
- 1997
- 数量
- 冊
- その他のタイトル
- 研究種目 基盤研究(C)
- 件名標目
- 完全反転型SOI MOSFET カンゼンハンテンガタSOIMOSFET低闘値電圧 テイトウチデンアツ低サブスレツシヨルド係数 テイサブスレツシヨルドケイスウ高相互コンダクタンス コウソウゴコンダクタンス完全反転臨界膜厚 カンゼンハンテンリンカイマクアツ短チヤネル効果 タンチヤネルコウカ電子ビーム蒸着装置 デンシビームジヨウチヤクソウチトツプシリコン層 トツプシリコンソウ