完全反転型SIMOX MOSFETの研究

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Material Type: 図書
Title: 完全反転型SIMOX MOSFETの研究
Title Transcription: カンゼンハンテンガタ SIMOX MOSFET ノケンキュウ
Author/Editor: 菅野, 卓雄, 東洋大学
Author Heading: 菅野, 卓雄スガノ, タクオ
Publication Date: 1997-1998
Publication Date (W3CDTF): 1997
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目基盤研究(C)
Subject Heading: 完全反転型SOI MOSFET カンゼンハンテンガタSOIMOSFET
低闘値電圧テイトウチデンアツ
低サブスレツシヨルド係数テイサブスレツシヨルドケイスウ
高相互コンダクタンスコウソウゴコンダクタンス
完全反転臨界膜厚カンゼンハンテンリンカイマクアツ
短チヤネル効果タンチヤネルコウカ
電子ビーム蒸着装置デンシビームジヨウチヤクソウチ
トツプシリコン層トツプシリコンソウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09650389
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H09650389
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007020199
http://id.ndl.go.jp/bib/000007020199
Bibliographic Record Category (NDL): 214