生体情報計測マイクロシステムのための集積化技術およびパツケージング技術の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 生体情報計測マイクロシステムのための集積化技術およびパツケージング技術の研究
• タイトルよみ: セイタイ ジョウホウ ケイソク マイクロ システム ノ タメ ノ シュウセキカ ギジュツ オヨビ パツケージング ギジュツ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 庄子, 習一, 早稲田大学
• 著者標目: 庄子, 習一 ショウジ, シュウイチ
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 生体情報計測 セイタイジヨウホウケイソク; マイクロシステム マイクロシステム; マイクロパツケージング マイクロパツケージング; 低温接合技術 テイオンセツゴウギジユツ; 電気的フイードスルー デンキテキフイードスルー; マイクロポーラスシリコン マイクロポーラスシリコン; 陽極化成 ヨウキヨクカセイ; 選択メツキ センタクメツキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09650491
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09650491
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007020264; http://id.ndl.go.jp/bib/000007020264
• 整理区分コード: 214