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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- セイタイ ジョウホウ ケイソク マイクロ システム ノ タメ ノ シュウセキカ ギジュツ オヨビ パツケージング ギジュツ ノ ケンキュウ
- Author/Editor
- 庄子, 習一, 早稲田大学
- Author Heading
- 庄子, 習一 ショウジ, シュウイチ
- Publication Date
- 1997-1998
- Publication Date (W3CDTF)
- 1997
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 基盤研究(C)
- Subject Heading
- 生体情報計測 セイタイジヨウホウケイソクマイクロシステム マイクロシステムマイクロパツケージング マイクロパツケージング低温接合技術 テイオンセツゴウギジユツ電気的フイードスルー デンキテキフイードスルーマイクロポーラスシリコン マイクロポーラスシリコン陽極化成 ヨウキヨクカセイ選択メツキ センタクメツキ