表面波プラズマにおけるマイクロ波吸収機構の解明とアンテナ結合系の最適化

• 資料種別: 図書
• タイトル: 表面波プラズマにおけるマイクロ波吸収機構の解明とアンテナ結合系の最適化
• タイトルよみ: ヒョウメンハ プラズマ ニ オケル マイクロハ キュウシュウ キコウ ノ カイメイ ト アンテナ ケツゴウケイ ノ サイテキ カ
• 著者・編者: 永津, 雅章, 名古屋大学
• 著者標目: 著者 ： 永津, 雅章 ナガツ, マサアキ ( 01196260 )典拠
• 出版年月日等: 1997-1998
• 出版年（W3CDTF）: 1997
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 基盤研究(C)
• 件名標目: 表面波プラズマ ヒヨウメンハプラズマ; 大面積プラズマ ダイメンセキプラズマ; マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; スロツトアンテナ スロツトアンテナ; アンテナープラズマ結合系 アンテナープラズマケツゴウケイ; プロセス用プラズマ プロセスヨウプラズマ; エネルギー吸収機構 エネルギーキユウシユウキコウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 09680461
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-H09680461
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007022590; http://id.ndl.go.jp/bib/000007022590
• 整理区分コード: 214