表面波プラズマにおけるマイクロ波吸収機構の解明とアンテナ結合系の最適化

• Material Type: 図書
• Title: 表面波プラズマにおけるマイクロ波吸収機構の解明とアンテナ結合系の最適化
• Title Transcription: ヒョウメンハ プラズマ ニ オケル マイクロハ キュウシュウ キコウ ノ カイメイ ト アンテナ ケツゴウケイ ノ サイテキ カ
• Author/Editor: 永津, 雅章, 名古屋大学
• Author Heading: 著者 ： 永津, 雅章 ナガツ, マサアキ ( 01196260 )Authorities
• Publication Date: 1997-1998
• Publication Date (W3CDTF): 1997
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(C)
• Subject Heading: 表面波プラズマ ヒヨウメンハプラズマ; 大面積プラズマ ダイメンセキプラズマ; マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; スロツトアンテナ スロツトアンテナ; アンテナープラズマ結合系 アンテナープラズマケツゴウケイ; プロセス用プラズマ プロセスヨウプラズマ; エネルギー吸収機構 エネルギーキユウシユウキコウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 09680461
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H09680461
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007022590; http://id.ndl.go.jp/bib/000007022590
• Bibliographic Record Category (NDL): 214