超音波顕微鏡による加工変質層の定量的評価に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超音波顕微鏡による加工変質層の定量的評価に関する研究
• タイトルよみ: チョウオンパ ケンビキョウ ニ ヨル カコウ ヘンシツソウ ノ テイリョウテキ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 佐藤, 寿芳, 東京大学
• 著者標目: 佐藤, 寿芳 サトウ, ヒサヨシ
• 出版年月日等: 1985-1986
• 出版年（W3CDTF）: 1985
• 数量: 冊
• 件名標目: 表面性状 ヒヨウメンセイジヨウ; 加工変質層 カコウヘンシツソウ; 評価 ヒヨウカ; 超音波顕微鏡 チヨウオンパケンビキヨウ; V (z) 曲線 V (Z) キヨクセン; 表面弾性波 ヒヨウメンダンセイハ; 空間反射パワー クウカンハンシヤパワー; 波形解析 ハケイカイセキ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 60460088
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S60460088
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007023695; http://id.ndl.go.jp/bib/000007023695
• 整理区分コード: 214