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図書

超音波顕微鏡による加工変質層の定量的評価に関する研究

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超音波顕微鏡による加工変質層の定量的評価に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-S60460088
Bibliographic ID of National Diet Library
000007023695
Material type
図書
Author
佐藤, 寿芳, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1985-1986
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウオンパ ケンビキョウ ニ ヨル カコウ ヘンシツソウ ノ テイリョウテキ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
佐藤, 寿芳, 東京大学
Author Heading
佐藤, 寿芳 サトウ, ヒサヨシ
Publication Date
1985-1986
Publication Date (W3CDTF)
1985
Extent
Subject Heading
表面性状 ヒヨウメンセイジヨウ
加工変質層 カコウヘンシツソウ
評価 ヒヨウカ
超音波顕微鏡 チヨウオンパケンビキヨウ
V (z) 曲線 V (Z) キヨクセン
表面弾性波 ヒヨウメンダンセイハ
空間反射パワー クウカンハンシヤパワー
波形解析 ハケイカイセキ
NDLC