超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究
• タイトルよみ: チョウ LSI ヨウ ジュンキンゾクタンケッショウ ハクマク ハイセン ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 大見, 忠弘, 東北大学
• 著者標目: 大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
• 出版年月日等: 1985-1986
• 出版年（W3CDTF）: 1985
• 数量: 冊
• 件名標目: 超高速LSI チヨウコウソクLSI; 純金属配線 ジユンキンゾクハイセン; バイアススパツタ バイアススパツタ; アルミニウム薄膜 アルミニウムハクマク; 銅薄膜 ドウハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 60460117
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S60460117
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007023724; http://id.ndl.go.jp/bib/000007023724
• 整理区分コード: 214