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超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究

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超LSI用純金属単結晶薄膜配線の研究

Call No. (NDL)
Y151-S60460117
Bibliographic ID of National Diet Library
000007023724
Material type
図書
Author
大見, 忠弘, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1985-1986
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウ LSI ヨウ ジュンキンゾクタンケッショウ ハクマク ハイセン ノ ケンキュウ
Author/Editor
大見, 忠弘, 東北大学
Author Heading
大見, 忠弘 オオミ, タダヒロ
Publication Date
1985-1986
Publication Date (W3CDTF)
1985
Extent
Subject Heading
超高速LSI チヨウコウソクLSI
純金属配線 ジユンキンゾクハイセン
バイアススパツタ バイアススパツタ
アルミニウム薄膜 アルミニウムハクマク
銅薄膜 ドウハクマク
NDLC