プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究
• タイトルよみ: プラズマプロセシングヨウ SiH4 ノ ラジカル ヒハッコウシュ ニ カンスル ケンキュウ
• 著者・編者: 後藤, 俊夫, 名古屋大学
• 著者標目: 著者 ： 後藤, 俊夫, 1941- ゴトウ, トシオ, 1941- ( 00292248 )典拠
• 出版年月日等: 1985-1986
• 出版年（W3CDTF）: 1985
• 数量: 冊
• 件名標目: プラズマプロセシング プラズマプロセシング; SiH4 SIH4; ラジカル非発光種 ラジカルヒハツコウシユ; 電子衝突 デンシシヨウトツ; 発光断面積 ハツコウダンメンセキ; 生成断面積 セイセイダンメンセキ; 寿命 ジユミヨウ; LIF法 LIFホウ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 60460120
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S60460120
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007023727; http://id.ndl.go.jp/bib/000007023727
• 整理区分コード: 214