プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究
• Title Transcription: プラズマプロセシングヨウ SiH4 ノ ラジカル ヒハッコウシュ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 後藤, 俊夫, 名古屋大学
• Author Heading: 著者 ： 後藤, 俊夫, 1941- ゴトウ, トシオ, 1941- ( 00292248 )Authorities
• Publication Date: 1985-1986
• Publication Date (W3CDTF): 1985
• Extent: 冊
• Subject Heading: プラズマプロセシング プラズマプロセシング; SiH4 SIH4; ラジカル非発光種 ラジカルヒハツコウシユ; 電子衝突 デンシシヨウトツ; 発光断面積 ハツコウダンメンセキ; 生成断面積 セイセイダンメンセキ; 寿命 ジユミヨウ; LIF法 LIFホウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60460120
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S60460120
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007023727; http://id.ndl.go.jp/bib/000007023727
• Bibliographic Record Category (NDL): 214