プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究

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Material Type: 図書
Title: プラズマプロセシング用SiH4のラジカル非発光種に関する研究
Title Transcription: プラズマプロセシングヨウ SiH4 ノラジカルヒハッコウシュニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 後藤, 俊夫, 名古屋大学
Author Heading: 著者：後藤, 俊夫, 1941- ゴトウ, トシオ, 1941- ( 00292248 )Authorities
Publication Date: 1985-1986
Publication Date (W3CDTF): 1985
Extent: 冊
Subject Heading: プラズマプロセシングプラズマプロセシング
SiH4 SIH4
ラジカル非発光種ラジカルヒハツコウシユ
電子衝突デンシシヨウトツ
発光断面積ハツコウダンメンセキ
生成断面積セイセイダンメンセキ
寿命ジユミヨウ
LIF法 LIFホウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60460120
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S60460120
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007023727
http://id.ndl.go.jp/bib/000007023727
Bibliographic Record Category (NDL): 214