電子線超音波顕微鏡の基礎と半導体素子評価への応用

• 資料種別: 図書
• タイトル: 電子線超音波顕微鏡の基礎と半導体素子評価への応用
• タイトルよみ: デンシセン チョウオンパ ケンビキョウ ノ キソ ト ハンドウタイ ソシ ヒョウカ ヘ ノ オウヨウ
• 著者・編者: 竹野下, 寛, 大阪府立大学
• 著者標目: 竹野下, 寛 タケノシタ, ヒロシ
• 出版年月日等: 1985-1986
• 出版年（W3CDTF）: 1985
• 数量: 冊
• 件名標目: 電子線超音波顕微鏡 (EAM) デンシセンチヨウオンパケンビキヨウ (EAM); 超音波顕微鏡 チヨウオンパケンビキヨウ; 走査型電子顕微鏡 (SEM) ソウサガタデンシケンビキヨウ (SEM); 超音波 チヨウオンパ; 半導体素子評価 ハンドウタイソシヒヨウカ; EBIC EBIC; 格子欠陥 コウシケツカン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 60550013
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S60550013
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007024771; http://id.ndl.go.jp/bib/000007024771
• 整理区分コード: 214