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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- Si デバイス ニ オケル カクサン バリア ト シテ ノ センイ キンゾク ナイトライド ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 伊藤, 太一郎, 大阪府立大学
- 著者標目
- 伊藤, 太一郎 イトウ, タイチロウ
- 出版年月日等
- 1985-1988
- 出版年(W3CDTF)
- 1985
- 数量
- 冊
- 件名標目
- Siデバイス SIデバイスイオンプレーテイング (IP) 法 イオンプレーテイング (IP) ホウ拡散バリア カクサンバリアTiN膜 TINマク固相反応 コソウハンノウTiSi2 (チタンシリサイド) TISI2 (チタンシリサイド)
- NDLC