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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- Si デバイス ニ オケル カクサン バリア ト シテ ノ センイ キンゾク ナイトライド ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 伊藤, 太一郎, 大阪府立大学
- Author Heading
- 伊藤, 太一郎 イトウ, タイチロウ
- Publication Date
- 1985-1988
- Publication Date (W3CDTF)
- 1985
- Extent
- 冊
- Subject Heading
- Siデバイス SIデバイスイオンプレーテイング (IP) 法 イオンプレーテイング (IP) ホウ拡散バリア カクサンバリアTiN膜 TINマク固相反応 コソウハンノウTiSi2 (チタンシリサイド) TISI2 (チタンシリサイド)
- NDLC