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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- ハンノウセイ RF イオンプレーテイング ニ ヨル 2 ホウカ チタン ヒマク ノ ゴウセイ
- 著者・編者
- 佐藤, 忠夫, 室蘭工業大学
- 著者標目
- 佐藤, 忠夫 サトウ, タダオ
- 出版年月日等
- 1985-1986
- 出版年(W3CDTF)
- 1985
- 数量
- 冊
- 件名標目
- 2ホウ化チタン 2ホウカチタンRFイオンプレーテイング法 RFイオンプレーテイングホウCVD法 CVDホウ
- NDLC