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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ハンノウセイ RF イオンプレーテイング ニ ヨル 2 ホウカ チタン ヒマク ノ ゴウセイ
- Author/Editor
- 佐藤, 忠夫, 室蘭工業大学
- Author Heading
- 佐藤, 忠夫 サトウ, タダオ
- Publication Date
- 1985-1986
- Publication Date (W3CDTF)
- 1985
- Extent
- 冊
- Subject Heading
- 2ホウ化チタン 2ホウカチタンRFイオンプレーテイング法 RFイオンプレーテイングホウCVD法 CVDホウ
- NDLC