熱電子活性化高周波反応性イオンプレーテイングによる成膜とそのコントロール

• 資料種別: 図書
• タイトル: 熱電子活性化高周波反応性イオンプレーテイングによる成膜とそのコントロール
• タイトルよみ: ネツ デンシ カッセイカ コウシュウハ ハンノウセイ イオンプレーテイング ニ ヨル セイマク ト ソノ コントロール
• 著者・編者: 浦尾, 亮一, 茨城大学
• 著者標目: 浦尾, 亮一 ウラオ, リヨウイチ
• 出版年月日等: 1985-1987
• 出版年（W3CDTF）: 1985
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 一般研究(C)
• 件名標目: イオンプレーテイング イオンプレーテイング; 気相めっき キソウメツキ; コーテイング コーテイング; 高周波プラズマ コウシユウハプラズマ; 窒化チタン チツカチタン
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 60550502
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S60550502
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007025035; http://id.ndl.go.jp/bib/000007025035
• 整理区分コード: 214