熱電子活性化高周波反応性イオンプレーテイングによる成膜とそのコントロール

• Material Type: 図書
• Title: 熱電子活性化高周波反応性イオンプレーテイングによる成膜とそのコントロール
• Title Transcription: ネツ デンシ カッセイカ コウシュウハ ハンノウセイ イオンプレーテイング ニ ヨル セイマク ト ソノ コントロール
• Author/Editor: 浦尾, 亮一, 茨城大学
• Author Heading: 浦尾, 亮一 ウラオ, リヨウイチ
• Publication Date: 1985-1987
• Publication Date (W3CDTF): 1985
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: イオンプレーテイング イオンプレーテイング; 気相めっき キソウメツキ; コーテイング コーテイング; 高周波プラズマ コウシユウハプラズマ; 窒化チタン チツカチタン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60550502
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S60550502
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007025035; http://id.ndl.go.jp/bib/000007025035
• Bibliographic Record Category (NDL): 214