循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究
• タイトルよみ: ジュンカン リュウドウソウ オ モチイタ モノシランガス カラ ノ タケッショウ シリコン セイゾウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• 著者・編者: 古沢, 健彦, 東京大学
• 著者標目: 古沢, 健彦 フルサワ, タケヒコ
• 出版年月日等: 1985-1986
• 出版年（W3CDTF）: 1985
• 数量: 冊
• 件名標目: 多結晶シリコン タケツシヨウシリコン; モノシラン モノシラン; 化学蒸気析出法 カガクジヨウキセキシユツホウ; 循環流動層 ジユンカンリユウドウソウ; 均相反応速度 キンソウハンノウソクド; 異相反応速度 イソウハンノウソクド
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 60550659
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S60550659
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007025114; http://id.ndl.go.jp/bib/000007025114
• 整理区分コード: 214