循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究

• Material Type: 図書
• Title: 循環流動層を用いたモノシランガスからの多結晶シリコン製造に関する基礎的研究
• Title Transcription: ジュンカン リュウドウソウ オ モチイタ モノシランガス カラ ノ タケッショウ シリコン セイゾウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 古沢, 健彦, 東京大学
• Author Heading: 古沢, 健彦 フルサワ, タケヒコ
• Publication Date: 1985-1986
• Publication Date (W3CDTF): 1985
• Extent: 冊
• Subject Heading: 多結晶シリコン タケツシヨウシリコン; モノシラン モノシラン; 化学蒸気析出法 カガクジヨウキセキシユツホウ; 循環流動層 ジユンカンリユウドウソウ; 均相反応速度 キンソウハンノウソクド; 異相反応速度 イソウハンノウソクド
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60550659
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S60550659
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007025114; http://id.ndl.go.jp/bib/000007025114
• Bibliographic Record Category (NDL): 214