図書

集束イオンビームを用いた超微細ドーピングの研究

図書を表すアイコン

集束イオンビームを用いた超微細ドーピングの研究

国立国会図書館請求記号
Y151-S60850058
国立国会図書館書誌ID
000007025922
資料種別
図書
著者
生駒, 俊明, 東京大学
出版者
-
出版年
1985-1986
資料形態
ページ数・大きさ等
-
NDC
-
すべて見る

資料に関する注記

一般注記:

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

書店で探す

書誌情報

この資料の詳細や典拠(同じ主題の資料を指すキーワード、著者名)等を確認できます。

資料種別
図書
タイトルよみ
シュウソク イオンビーム オ モチイタ チョウビサイ ドーピング ノ ケンキュウ
著者・編者
生駒, 俊明, 東京大学
著者標目
生駒, 俊明 イコマ, トシアキ
出版年月日等
1985-1986
出版年(W3CDTF)
1985
数量
件名標目
集束イオンビーム シユウソクイオンビーム
イオン源 イオンゲン
トランジエントアニール トランジエントアニール
サブミクロンデバイス サブミクロンデバイス
新機能デバイス シンキノウデバイス
ガリウムヒ素 ガリウムヒソ
混晶半導体 コンシヨウハンドウタイ
フオトルミネセンス フオトルミネセンス
NDLC