集束イオンビームを用いた超微細ドーピングの研究

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Material Type: 図書
Title: 集束イオンビームを用いた超微細ドーピングの研究
Title Transcription: シュウソクイオンビームオモチイタチョウビサイドーピングノケンキュウ
Author/Editor: 生駒, 俊明, 東京大学
Author Heading: 生駒, 俊明イコマ, トシアキ
Publication Date: 1985-1986
Publication Date (W3CDTF): 1985
Extent: 冊
Subject Heading: 集束イオンビームシユウソクイオンビーム
イオン源イオンゲン
トランジエントアニールトランジエントアニール
サブミクロンデバイスサブミクロンデバイス
新機能デバイスシンキノウデバイス
ガリウムヒ素ガリウムヒソ
混晶半導体コンシヨウハンドウタイ
フオトルミネセンスフオトルミネセンス
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60850058
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S60850058
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007025922
http://id.ndl.go.jp/bib/000007025922
Bibliographic Record Category (NDL): 214