医用低ドリフトモノリシツク容量形圧センサの開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: 医用低ドリフトモノリシツク容量形圧センサの開発
• タイトルよみ: イヨウ テイドリフトモノリシツク ヨウリョウケイアツ センサ ノ カイハツ
• 著者・編者: 松尾, 正之, 東北大学
• 著者標目: 松尾, 正之 マツオ, タダユキ
• 出版年月日等: 1985-1986
• 出版年（W3CDTF）: 1985
• 数量: 冊
• 件名標目: 圧力センサ アツリヨクセンサ; 医用センサ イヨウセンサ; 容量形圧力センサ ヨウリヨウガタアツリヨクセンサ; 集積化センサ シユウセキカセンサ; 低ドリフト テイドリフト; 微細加工 ビサイカコウ; Si直接接着 SIチヨクセツセツチヤク; 絶対圧力センサ ゼツタイアツリヨクセンサ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 60850075
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S60850075
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007025939; http://id.ndl.go.jp/bib/000007025939
• 整理区分コード: 214