医用低ドリフトモノリシツク容量形圧センサの開発

• Material Type: 図書
• Title: 医用低ドリフトモノリシツク容量形圧センサの開発
• Title Transcription: イヨウ テイドリフトモノリシツク ヨウリョウケイアツ センサ ノ カイハツ
• Author/Editor: 松尾, 正之, 東北大学
• Author Heading: 松尾, 正之 マツオ, タダユキ
• Publication Date: 1985-1986
• Publication Date (W3CDTF): 1985
• Extent: 冊
• Subject Heading: 圧力センサ アツリヨクセンサ; 医用センサ イヨウセンサ; 容量形圧力センサ ヨウリヨウガタアツリヨクセンサ; 集積化センサ シユウセキカセンサ; 低ドリフト テイドリフト; 微細加工 ビサイカコウ; Si直接接着 SIチヨクセツセツチヤク; 絶対圧力センサ ゼツタイアツリヨクセンサ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 60850075
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S60850075
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007025939; http://id.ndl.go.jp/bib/000007025939
• Bibliographic Record Category (NDL): 214