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書誌情報
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- 資料種別
- 図書
- タイトルよみ
- シガイコウレイキ オ リヨウ シタ シリコン キバン ジョウ ヘ ノ エピタキシヤル ゼツエンマク ケイセイ ノ キソ ケンキュウ
- 著者・編者
- 中村, 哲郎, 豊橋技術科学大学
- 著者標目
- 中村, 哲郎 ナカムラ, テツロウ
- 出版年月日等
- 1986-1988
- 出版年（W3CDTF）
- 1986
- 数量
- 冊
- 件名標目
- エピタキシヤルAl2O3膜 エピタキシヤルAL2O3マクガスソース分子線エピタキシー ガスソースブンシセンエピタキシー紫外光励起 シガイコウレイキシリコン基板 シリコンキバンX線光電子分光法 Xセンコウデンシブンコウホウ
- NDLC