半導体のレーザ結晶化過程の研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 半導体のレーザ結晶化過程の研究
• タイトルよみ: ハンドウタイ ノ レーザ ケッショウカ カテイ ノ ケンキュウ
• 著者・編者: 山田, 正良, 京都工芸繊維大学
• 著者標目: 山田, 正良 ヤマダ, マサヨシ
• 出版年月日等: 1986-1987
• 出版年（W3CDTF）: 1986
• 数量: 冊
• 件名標目: レーザ結晶化 レーザケツシヨウカ; 熱解析 ネツカイセキ; 三次元集積回路 3ジゲンシユウセキカイロ; レーザアニール レーザアニール; 半導体 ハンドウタイ; 温度 オンド
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 61550016
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S61550016
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007027908; http://id.ndl.go.jp/bib/000007027908
• 整理区分コード: 214