半導体のレーザ結晶化過程の研究

• Material Type: 図書
• Title: 半導体のレーザ結晶化過程の研究
• Title Transcription: ハンドウタイ ノ レーザ ケッショウカ カテイ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 山田, 正良, 京都工芸繊維大学
• Author Heading: 山田, 正良 ヤマダ, マサヨシ
• Publication Date: 1986-1987
• Publication Date (W3CDTF): 1986
• Extent: 冊
• Subject Heading: レーザ結晶化 レーザケツシヨウカ; 熱解析 ネツカイセキ; 三次元集積回路 3ジゲンシユウセキカイロ; レーザアニール レーザアニール; 半導体 ハンドウタイ; 温度 オンド
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 61550016
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-S61550016
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007027908; http://id.ndl.go.jp/bib/000007027908
• Bibliographic Record Category (NDL): 214