イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発

• 資料種別: 図書
• タイトル: イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発
• タイトルよみ: イオンビーム ユウキ カガク コウカ ト マスクレス ハクマク ケイセイ ギジュツ ノ カイハツ
• 著者・編者: 難波, 進, 大阪大学
• 著者標目: 著者 ： 難波, 進, 1928- ナンバ, ススム, 1928- ( 00053782 )典拠
• 出版年月日等: 1986-1987
• 出版年（W3CDTF）: 1986
• 数量: 冊
• 件名標目: イオンビーム誘起化学効果 イオンビームユウキカガクコウカ; マスクレスデポジシヨン マスクレスデポジシヨン; 集束イオンビーム シユウソクイオンビーム; イオンビーム露光 イオンビームロコウ; X線露光 Xセンロコウ; 高融点金属薄膜 コウユウテンキンゾクハクマク
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 61850005
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S61850005
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007029305; http://id.ndl.go.jp/bib/000007029305
• 整理区分コード: 214