イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発

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Material Type: 図書
Title: イオンビーム誘起化学効果とマスクレス薄膜形成技術の開発
Title Transcription: イオンビームユウキカガクコウカトマスクレスハクマクケイセイギジュツノカイハツ
Author/Editor: 難波, 進, 大阪大学
Author Heading: 著者：難波, 進, 1928- ナンバ, ススム, 1928- ( 00053782 )Authorities
Publication Date: 1986-1987
Publication Date (W3CDTF): 1986
Extent: 冊
Subject Heading: イオンビーム誘起化学効果イオンビームユウキカガクコウカ
マスクレスデポジシヨンマスクレスデポジシヨン
集束イオンビームシユウソクイオンビーム
イオンビーム露光イオンビームロコウ
X線露光 Xセンロコウ
高融点金属薄膜コウユウテンキンゾクハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 61850005
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-S61850005
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007029305
http://id.ndl.go.jp/bib/000007029305
Bibliographic Record Category (NDL): 214