合金組成比を任意に制御出来る低温・高速スパツタ装置の開発研究

• 資料種別: 図書
• タイトル: 合金組成比を任意に制御出来る低温・高速スパツタ装置の開発研究
• タイトルよみ: ゴウキン ソセイヒ オ ニンイ ニ セイ オデキルテイオン ・ コウソク スパツタ ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
• 著者・編者: 畑, 朋延, 金沢大学
• 著者標目: 畑, 朋延 ハタ, トモノブ
• 出版年月日等: 1986-1988
• 出版年（W3CDTF）: 1986
• 数量: 冊
• その他のタイトル: 研究種目 奨励研究(B)
• 件名標目: 薄膜 ハクマク; マグネトロンスパツタ マグネトロンスパツタ; シリサイド シリサイド; 傾斜機能材料 ケイシヤキノウザイリヨウ; プラズマ制御 プラズマセイギヨ
• NDLC: Y151
• 一般注記: 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• 科研費課題番号: 61850050
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Y151-S61850050
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 000007029344; http://id.ndl.go.jp/bib/000007029344
• 整理区分コード: 214